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光电显示屏行业生产时产生的废气该如何处理?

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- 光电显示屏废气 -


  电子行业一般分为电子专用材料、电子元件、印制电路板、半导体器件、显示器等。光电显示行业的废气主要来源于液晶面板工序的光刻、刻蚀、保护膜生成而产生的有机废气、酸性废气、碱性废气及有毒废气。光电显示行业废气怎么治理?今天居峰环境小编简单简述一下。

-  新材料半导体废气处理工艺流程 -


  光电显示行业废气污染物包括苯、甲苯、二甲苯、丙酮、异丙醇、2-丁酮、乙酸乙酯、二氯甲烷、NMHC等有机废气、酸性废气和碱性废气及有毒废气。根据其废气我司采用气水混合塔+沸石吸附浓度+活性炭吸附脱附催化燃烧设备工艺。

1、预处理:车间产生的大风量,低浓度(<400mg/m3)的有机废气,由管道进入气水混合塔,再经过干式过滤,去除99%以上颗粒物。

2、吸附浓缩:预处理后VOCs气体,通过沸石表面吸附,提供98%以上的VOCs去除率,达标排放

3、活性炭吸附脱附+催化燃烧(CO):废气中VOCs被浓缩在蜂窝活性炭表面,利用混热器提供约100℃的小风量热气流来进行反吹脱附。脱附出来的高浓度,小风量浓缩废气送至催化燃烧炉(CO)内催化燃烧分解成CO2和H2O,燃烧放热回用,节省能源。

新材料半导体废气处理设备特点 -


  1、CO催化燃烧设备采用优质金属钯,镀铂在蜂窝陶瓷载体上作为催化剂,纯利效率高达95-99%,寿命长,可再生,气体流量大,阻力小。

  2. 安全设施齐全:防火除尘器、泄压孔、超温报警等保护设施。

  3、功耗:预热15 ~ 35分钟全功率加热,工作时只消耗风机功率即可。当废气浓度低时,自动间歇补偿加热。

  4. 余热回收利用:余热可返回干燥路径进行干燥,减少原干燥路径的功率消耗;也可作为工厂其他方面的热源(如浴室、散热器等)。

  5、CO催化燃烧设备可选用电加热和天然气加热等加热方式。


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